@phdthesis{legeay:tel-00567155,
TITLE = {Couches minces amorphes d'ITO : caract{\'e}risation, structure, {\'e}volution et fonctionnalisation sous rayonnements UV.},
AUTHOR = {Legeay, G{\'e}rard},
URL = {https://theses.hal.science/tel-00567155},
SCHOOL = {Universit{\'e} Rennes 1},
YEAR = {2011},
MONTH = Jan, KEYWORDS = {indium tin oxide ; thin films ; sputtering ; amorphous substances ; laser beam cutting ; crystallization ; surfaces (technology) -- analysis ; surfaces (technology) -- effect of ultraviolet radiation ; surface functionalization. ; oxyde d'indium-{\'e}tain ; couches minces ; pulv{\'e}risation cathodique ; mat{\'e}riaux amorphes ; usinage par laser ; cristallisation ; surfaces (technologie) -- analyse ; surfaces (technologie) -- effets du rayonnement ultraviolet ; fonctionnalisation des surfaces.},
TYPE = {Theses},
PDF = {https://theses.hal.science/tel-00567155/file/ThA_se_G_Legeay.pdf},
HAL_ID = {tel-00567155},
HAL_VERSION = {v1},
}