@inproceedings{lhermite:hal-03393429,
TITLE = {Sur l'utilisation de la r{\'e}sine UV210 se flashant en UV profond pour les circuits de photonique int{\'e}gr{\'e}e / opto{\'e}lectroniques : processus de nanolithographie, propri{\'e}t{\'e}s physiques et structures r{\'e}alis{\'e}es},
AUTHOR = {Lhermite, Herv{\'e} and Mor{\'e}ac, Alain and B{\^e}che, Bruno},
URL = {https://hal.science/hal-03393429},
BOOK
TITLE = {Journ{\'e}e Nationale sur les proc{\'e}d{\'e}s de lithographie par nano-impression},
ADDRESS = {Lyon, France},
YEAR = {2021},
MONTH = Nov, PDF = {https://hal.science/hal-03393429/file/J-NIL_abstract_BrunoBeche-et-al.pdf},
HAL_ID = {hal-03393429},
HAL_VERSION = {v1},
}